Prestasi utama dan ciri struktur:
1. Meter kepadatan kawasan dan die boleh membentuk kawalan gelung tertutup.
2. Sistem CCD dengan kawalan gelung tertutup untuk pengesanan dimensi.
3. Tampal pita penamat pada tailing.
4. Buburan lapisan dua boleh disalut pada sisi substrat yang sama.
5. Bekerjasama dengan sistem MES dan kawalan awan managere mote untuk peralatan.

Pemantauan dan maklum balas kualiti:
1. Meter ketumpatan kawasan dalam sinar X/B untuk pengesanan dalam talian.
2. Sistem CCD untuk pengesanan dimensi dan kecacatan.
3. cetakan inkjet tanda NG.
4. Pengukuran suhu melalui IR pada permukaan elektrod di dalam ketuhar.
5. Meter aliran jisim memantau dalam talian untuk aliran, kelikatan dan suhu.
6. Pemantauan kepekatan NMP untuk ketuhar katod dan pengesanan kelembapan untuk ketuhar anod.